현재 초정밀 가공기술에 대한 연구가 부족하고 단결정 산화마그네슘에만 유리한 초정밀 가공기술도 온전하지 않습니다. 단결정 산화마그네슘 기판의 표면을 가공하기 위해 화학 기계적 연마(CMP) 방법을 채택합니다. 화학과 기계의 상호작용을 통해 지하 손상층을 닦아낼 수 있다. 따라서 손상 없이 단결정 산화마그네슘 기판의 매우 매끄러운 표면을 효율적으로 얻을 수 있습니다. 수많은 GMP 실험을 바탕으로 CMP 공정에 영향을 미치는 주요 요인을 연구합니다. 주요 요인에는 연마 패드, 연마 용액, 연마 압력, 회전 속도 등이 포함됩니다. 그리고 Meishen은 그것의 영향 규칙을 연구합니다.
물리화학적 특성에 따라 이에 적합한 화학기계적 연마액을 연구, 개발합니다. 연마패드의 주요 물성변수에 대하여 시험 및 평가하였다. 또한 동일한 기술 매개변수에서 서로 다른 연마 패드를 사용하여 각각 테스트하고 서로 다른 연마 패드의 작용 메커니즘과 연마 품질을 대조 분석합니다. 그리고 그에 맞는 연마 패드를 선택합니다. 직교 실험 후 CMP 기술 매개변수를 최적화하여 기판의 더 나은 표면 품질을 얻을 수 있습니다. Ra(표면 거칠기)는 1.3(AFM 측정 결과)을 달성할 수 있습니다. 따라서 처리 효율성을 높이고 비용을 절감합니다. 게다가,
Meishen Technology는 산화마그네슘, 탄산마그네슘, 황산마그네슘, 수산화마그네슘, 체육관 분필 등을 생산하는 전문 산화마그네슘 제조업체입니다. 방문과 협력을 환영합니다! 자세한 내용은 +86-0319-3928529로 문의하세요.
